纳米金刚石涂层模具的制备工艺
热丝CVD沉积法: 激发源(热丝)穿过模具孔并放置在轴向位置。通过控制热丝温度、气体流速和反应时间等参数,实现纳米金刚石涂层的均匀沉积。例如,在成核阶段,热丝反应压力调整为4.0~6.0 kPa,输入氢气和甲烷混合气体,流速为1800~2300 ml/min,甲烷体积分数为2~4%,反应时间为40~80 min;在生长阶段,反应压力调整为2.5~3.5 kPa,混合气体流速和甲烷体积分数相应调整,反应时间为300~420 min。

热丝CVD沉积法:
激发源(热丝)穿过模具内孔并放置在轴向位置。通过控制热丝温度、气体流速和反应时间等参数,实现纳米金刚石涂层的均匀沉积。例如,在成核阶段,热丝反应压力调整为4.0~6.0 kPa,输入氢气和甲烷的混合气体,流速为1800~2300 ml/min,甲烷体积分数为2~4%,反应时间为40~80分钟;在生长阶段,反应压力调整为2.5~3.5 kPa,混合气体流速和甲烷体积分数相应调整,反应时间为300~420分钟。
多热丝编织技术:
采用由多根热丝组成的编织丝代替单根直热丝,实现大口径(内孔15~70 mm)拉丝模具内表面金刚石涂层的均匀涂覆。根据不同直径的拉丝模具,选择不同的编织丝组合,以确保金刚石薄膜均匀且质量良好。
纳米金刚石复合涂层技术:
常规金刚石和纳米金刚石有机结合。在常规金刚石涂层沉积的基础上,原位沉积一层纳米金刚石薄膜,形成复合涂层。这使得涂层具有耐磨性和强附着力的优点,以及表面光滑、摩擦系数低、硬度降低、易于研磨抛光等特点。纳米金刚石涂层颗粒尺寸为20~80 nm。
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